4.1 一般规定

4.1.1 特种气体工艺系统应设置下列主要装置：
    1 储存、供气的气瓶柜、气瓶架、集装格；
    2 气体分配用阀门箱、阀门盘；
    3 辅助氮气吹扫系统；
    4 尾气处理装置。
4.1.2 特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特种气体工艺参数、污染控制、使用安全的要求。
4.1.3 不相容的特种气体的排气管道不得接入同一排气系统。
4.1.4 不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统。


4.1.1～4.1.2 特种气体输送系统是电子工厂中危险性最大的设施或场所，一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员、厂房、设备的严重损失。如特种气体中的硅烷为自燃性，一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应，开始燃烧。砷烷为剧毒性，微量泄漏就可能造成人员的生命危险。这些显而易见的危险，对于系统设计的安全性要求就十分严格。特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量、压力、温度等的工艺参数要求。为了精确控制流量、压力、温度等参数，在气源一端一般应配置高精度的流量计、压力变送器、电子秤、温控器等。对于大宗特种气体系统，不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响，还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳-汤普逊效应。一般而言，气体减压后，温度会降低，甚至液化，这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏。因此需要考虑在减压前对气体进行预热。在管路及其附件的材质选择、管路催扫、测试检验等每一个环节应采取措施，使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求。例如在更换钢瓶后，可能有一段管路被外界气体污染，所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹，使其符合供应质量的要求，为此，特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上，并在需要特种气体的生产工艺设备临近处设置阀门箱、阀门盘，辅助氮气吹扫系统、尾气处理装置，以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求。
4.1.3 为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，不相容的特种气体的排气体管道不得接入同一排气系统，为此，作了本条的规定。
4.1.4 工程实践表明，特种气体系统的排风管道将不可避免地带入浓度不同的特种气体，为防止不相容特种气体相遇发生反应带来安全危害，本条规定不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统。